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    特种稀有气体(含氟)气体

    二氟化氙(XeF2)

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    产品详情

    二氟化氙(XeF2) 二氟化氙(XeF2),又称二氟代氙,分子量为169.30,是一种无色固体,在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解,在酸性溶液中较为稳定,水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的,具有令人发呕的恶臭。在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体,由于XeF2和硅的化学反应是自发反应,XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性,在XeF2对硅进行腐蚀过程中,XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面,并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4,从而实现对硅的腐蚀。

    CAS :13709-36-9

    英文别名:XeF4


    产品指标


    项目Items 单位Unit 指标Index

    二氟化氙Xenon difluoride (XeF2) ≥ Vol.% 99.9

    钾Kalium (K) ≤ mg/kg 0.18

    钙Calcium (Ca)≤ mg/kg 0.15

    钠Sodium (Na)≤ mg/kg 0.7

    镁Magnesium (Mg)≤ mg/kg 0.12

    铝Aluminum (AI) ≤ mg/kg 0.17

    锌Zinc (Zn)≤ mg/kg 0.3

    铁lron (Fe) ≤ mg/kg 1.21

    铅Plumbum (Pb)≤ mg/kg 0.07

    铜Cuprum (Cu)≤ mg/kg 0.05

    铬Chromium (Cr)≤ mg/kg 0.15

    锰(Mn) ≤ mg/kg 0.04

    钼Manganese (Mo) ≤ mg/kg 0.15

    镍Nickel (Ni)≤ mg/kg 0.83

    磷Phosphorus (P)≤ mg/kg 0.14


    产品用途:

    在电子工业中,XeF 2常被用作硅的蚀刻气体。此外,二氟化氙是一种选择性很好的氟化试剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用,但其只有在气相和非水溶液中才具有氟化性质,在水溶液中只能起氧化剂的作用。

    包装、贮存:

    二氟化氙是一个稳定的化合物,可长期储放于镍制容器或铝合金无缝钢瓶内,包装规格有100g、500g、1kg、2kg和5kg规格,以满足科研院所及生产型企业的不同要求。具体包装规格可根据用户需求定制更改。二氟化氙储存于阴凉、通风的库房,应与氧化剂、食用化学品、碱金属分开存放,远离火种、热源。


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