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    特种稀有气体（含氟）气体

    三氟化磷（PF3）

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    三氟化磷（PF3）



    化学式

    PF3

    中文名称

    三氟化磷

    英文名称

    Phosphorus  Trifluoride

    CAS No.

    7783-55-3

    分子量

    87.969

    充装量


    应用

    发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。

    三氟化磷是一种无机化合物，其化学式为PF3，在常温常压下为无色无味的有毒气体，液态时为无色透明液体，空气中不太发烟，相当稳定，加热时与氢反应生成PH3，能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外，不腐蚀玻璃。


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